PLDmethod相关论文
为FRAM,FFET,FDM的实际应用和研究提出了多层结构铁电薄膜的设计思想,采用脉冲准分子激光淀积方法实际制备了两种不同电极的BIT/PLZT/BIT/p-Si多层铁电薄膜。用Sawyer-Tower电路......
利用脉冲准分子激光淀积(PLD)方法,在Si基片上制备了BIT/Si〔100〕、PZT/BIT/Si〔100〕和BIT/PZT/BIT/Si〔100〕铁电薄膜。用XRD分析了多层铁电薄膜的晶相结构;用Sawyer-Tower电路研究了这些单层和多......